微差壓傳感器通常分為三類：壓阻式傳感器、電容式傳感器和微機電 (MEMS) 傳感器。

1、壓阻式傳感器

壓阻式傳感器通常由硅制成，通過金屬間的粘結(jié)作用接合到鋼基板上。當(dāng)施加應(yīng)力時，這種單晶膜片就會發(fā)生形變，進(jìn)而使惠斯通電橋中的電阻檢測到壓力，然后按比例輸出電壓。壓阻式傳感器具有良好的分辨率和帶寬，適合預(yù)算不寬裕的應(yīng)用。

但是這種傳感器也有其局限性。它們對溫度變化很敏感，并且容易漂移。更嚴(yán)重的是，這類傳感器無法提供足夠大的面積來感應(yīng)壓力以產(chǎn)生有效的膜片形變。當(dāng)然膜片可以做得更薄一些，但是這會降低其強度和完整性，同時也增加了成本。當(dāng)用于低壓測量時，測量結(jié)果噪雜，長期穩(wěn)定性差。因此這類傳感器更適合高壓測量。

2、電容式傳感器

基于電容的壓力傳感器已經(jīng)成為壓力測量應(yīng)用的主流。相對于壓阻式壓力傳感器，電容式壓力傳感器具備更高的壓力靈敏度和更低的溫度靈敏度。

其它優(yōu)點還包括：設(shè)計簡單、無需使用特殊材料、低能耗、高分辨率和低成本。

電容式傳感器包括一個緊湊外殼和內(nèi)部兩片平行放置的絕緣金屬板。其中一片金屬板采用金屬膜片，能夠在壓力作用下發(fā)生輕微形變，另一片為絕緣的不銹鋼電極。當(dāng)在金屬膜片上施加壓力差時，金屬膜片將相對固定電極發(fā)生位移，從而使電容發(fā)生變化。線性比較電路檢測到所產(chǎn)生的電容變化，成正比地放大并輸出高電平電壓信號。金屬膜片的形變量極小，有利于減小遲滯和重復(fù)誤差，加快響應(yīng)速度。

3、微機電 (MEMS) 傳感器

MEMS(Microelectro Mechanical Systems)傳感器是一種常見的電容式傳感器。它通過微影蝕刻技術(shù)在硅基板上蝕刻執(zhí)行器、機械部件和電子器件，從而可以低廉地大批量制造。此外，其體積也在不斷縮小，其膜片面積小至13mm2級別。

然而，這種小型化趨勢也限制了性能，例如不靈敏、不精確和信號漂移。由于由脆性材料制成，MEMS傳感器在高應(yīng)力下易于斷裂，無法承受過大的受力。電容式MEMS傳感器的最大局限在于，小型化限制了其在高壓應(yīng)用中的壓力靈敏度。

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