美國阿爾法微差壓傳感器在半導(dǎo)體領(lǐng)域主要用于高精度環(huán)境控制與工藝監(jiān)測：
潔凈室壓差管理?：監(jiān)測不同潔凈等級區(qū)域間的微小壓差（通常0-100Pa），維持單向氣流防止污染擴(kuò)散，確保ISO 1-5級潔凈度；
刻蝕與沉積工藝控制?：實(shí)時(shí)反饋反應(yīng)腔體與外部氣壓差（如0-1kPa），優(yōu)化氣體流量及真空度，保障晶圓表面處理的均勻性；
設(shè)備健康診斷?：通過檢測氣體管路或過濾系統(tǒng)的壓差變化，預(yù)警堵塞、泄漏等故障，減少停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。
其特性（±0.5%FS精度、抗化學(xué)腐蝕）能適配半導(dǎo)體嚴(yán)苛環(huán)境，直接提升良品率與生產(chǎn)穩(wěn)定性，是智能制造的關(guān)鍵傳感元件之一。
壓力介質(zhì)：空氣或其它非導(dǎo)電性氣體（非凝露）
精度：±1.0%FS,±0.40%FS,±0.25%FS
量程：單向：25 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA, 0-5Vdc, 0-10Vdc
最大靜壓：正負(fù)向均能承受100kPa的過載而不會損壞
壓力介質(zhì)：空氣或其它非導(dǎo)電性氣體（非凝露）
精度：±1.0%,±0.4%,±0.25%
量程：單向：25 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA
最大靜壓：正負(fù)向均能承受100kPa的過載而不損壞
壓力介質(zhì)：空氣或其它非導(dǎo)電性氣體（非凝露）
精度：±1.0%,±0.4%,±0.25%
量程：單向：25 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA, 0-5Vdc, 0-10Vdc
最大靜壓：正負(fù)向均能承受100kPa的過載而不損壞
壓力介質(zhì)：空氣或其它非導(dǎo)電性氣體（非凝露）
精度：±1.0%，±0.4%，±0.25%
量程：單向：0 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA, 0-5Vdc, 0-10Vdc
最大靜壓：正負(fù)向均能承受100kPa的過載而不會損壞
壓力介質(zhì)：空氣或其它非導(dǎo)電性氣體（非凝露）
精度：±1.0%,±0.4%,±0.25%
量程：單向：25 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA, 0-5Vdc, 0-10Vdc
最大靜壓：正負(fù)向均能承受100kPa的過載而不損壞
壓力介質(zhì)：空氣或其它非導(dǎo)電性氣體（非凝露）
精度：±1.0%，±0.4%，±0.25%
量程：單向：25 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA, 0-5Vdc, 0-10Vdc
最大靜壓：正負(fù)向均能承受100kPa的過載而不損壞
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